要了解坚膜烘箱，首先要知道什么是坚膜工艺？

   坚膜工艺也是晶圆制造过程中常见的一种工艺，是对显影后的衬底进行烘烤热处理的一个过程。其主要作用是去除光刻胶中剩余的溶剂（DNQ酚醛树脂光刻胶中的氮会引起光刻胶局部爆裂），增强光刻胶在硅片表面的粘附力，而且可以提高光刻胶在刻蚀和离子注入过程中的抗腐蚀能力。

   坚膜的烘烤温度略高于前烘温度，一般也就是光刻胶玻璃态转化温度。在这个温度下，光刻胶表面在张力下圆润化，光刻胶层中的缺陷逐渐减少，边缘轮廓也得到修正。烘烤过程中光刻胶中的溶剂除去，产生的热熔效应使得硅片和光刻胶间的接触面增加，附着力增强。但是也需要适当的控制温度，如果温度过高，会适得其反，增加去胶的难度，附着力也会下降。温度应该控制在170℃范围内。

   坚膜烘箱的主要要求？

   内部环境：class 100

   烘烤方式：热风循坏或真空烘烤

   温度要求+10-250℃

   烘烤时间：10-30分钟

   烘箱尺寸：可根绝客户要求定制