QQ:605697329

WLCSP,WLP晶圆级封装/TSV3D先进封装烘箱固化炉的要求?

2023-10-05 09:20:09 超级管理员 浏览次数 82

01

什么是晶圆级封装?

在前道的晶圆制造中,直接对晶圆进行封装,封装好后再切割切割成单一芯片,相对于传统封装将晶圆切割成单个芯片后再进行封装,WLP 技术在封装成本和生产效率等方面具有明显的优势。

与传统的的引线键合方式相比,其主要优点就是封装体积小,互联路径短。


02

晶圆级封装的主要流程

1、涂覆聚合物薄膜层,加强芯片的钝化层,起到应力缓冲的作用。

2、RDL重布线层是对芯片的铝/铜焊区位置重新布局,使新焊区满足对焊料球最小间距的要求,并使新焊区按照阵列排布。光刻胶作为选择性电镀的模板以规划RDL的线路图形,最后湿法蚀刻去除光刻胶和溅射层。

3、涂覆第二层聚合物薄膜,是圆片表面平坦化并保护RDL层。在第二层聚合物薄膜光刻出新焊区位置。

4、凸点下金属层(UBM)采用和RDL一样的工艺流程制作。

5、植球。焊膏和焊料球通过掩膜板进行准确定位,将焊料球放置于UBM上,放入回流炉中,焊料经回流融化与UBM形成良好的浸润结合,达到良好的焊接效果。

03

晶圆级封装的烘烤固化要求

晶圆烘烤对温度,温度的均匀性,烘箱内部洁净度以及氧气浓度的控制都有很多高的要求。

温度范围:RT-400℃

均匀度:<±1.5%℃

洁净度:class100

氧含量:<100ppm

举报/反馈