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无氧烘箱/PI烘箱/BPO烘箱/高温气氛炉

无氧烘箱

1、特别说明:产品图片以及参数跟实际产品略有差异

2、定制说明:一切规格按照客户实际情况或量身定制,支持非标定制。

3、温馨提示:本产品型号众多,案例仅供参考,更多型号请联系客服!

产品简介: 用于半导体晶圆清洗、涂胶、光刻、退火、坚膜、封装等工艺,电子材料线路板烘烤,金属材料退火等其他行业。

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设备型号 内尺寸(W*D*H)mm 温度范围 隔板数
PHWY系列无氧烘箱 任意尺寸定制 +10-200℃(300,400,500℃) 任意
PHWY-9027 300×300×300 +10-200℃(300,400,500℃) 1块
PHWY-9070 450×350×450 +10-200℃(300,400,500℃) 1块
PHWY-9136 550×450×550 +10-200℃(300,400,500℃) 2块
PHWY-9225 600×500×750 +10-200℃(300,400,500℃) 2块
PHWY-9640 800×800×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 3块
PHWY-91000 1000×1000×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 4块
PHWY-91440 1200×1000×1200 +10-200℃(300,400,500℃) 5块
PHWY-91800 1200×1000×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6块
PHWY-92700 1500×1200×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6块

一、氧含量控制: 实时检测,氧含量可控制100ppm以下,最低可至20ppm。

二、控温方式: PLC+7寸液晶触摸屏或PID双数显智能控温。

三、均匀度: ±1.5%℃。

四、内胆材料: 1.2mm镜面不锈钢板。

五、加热装备: 不锈钢无尘电热管,升温速度0-15℃/min。

六、送风方式: 双风道水平送风,背部送风,垂直送风等。

七、密封方式: 耐高温压迫密封胶条。

八、降温方式: 水冷/风冷。

九、超温保护: 配置独立超温保护仪,超过设定温度自动切断加热并蜂鸣报警。

十、电器配置: 断路器、接触器、过载保护器、中间继电器、离心抽风机等。

十一、安全装置: 漏电,短路,过载保护;鼓风电机过载缺相保护。

如有其他工艺需要,可联系功能定制!

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