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高真空无氧烘箱/除气炉/真空除气炉

烘箱

1、特别说明:产品图片以及参数跟实际产品略有差异

2、定制说明:一切规格按照客户实际情况或量身定制,支持非标定制。

3、温馨提示:本产品型号众多,案例仅供参考,更多型号请联系客服!

产品简介: 用于半导体晶圆清洗、涂胶、光刻、退火、坚膜、封装等工艺,电子材料线路板烘烤,金属材料退火等其他行业。...

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设备型号 内尺寸(W*D*H)mm 温度范围 隔板数
PHGZ-PN系列无氧烘箱 任意尺寸定制 +10-200℃(300,400,500℃) 任意
PHGZ-9027-PN 300×300×300 +10-200℃(300,400,500℃) 1块
PHGZ-9070-PN 450×350×450 +10-200℃(300,400,500℃) 1块
PHGZ-9136-PN 550×450×550 +10-200℃(300,400,500℃) 2块
PHGZ-9225-PN 600×500×750 +10-200℃(300,400,500℃) 2块
PHGZ-9640-PN 800×800×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 3块
PHGZ-91000-PN 1000×1000×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 4块
PHGZ-91440-PN 1200×1000×1200 +10-200℃(300,400,500℃) 5块
PHGZ-91800-PN 1200×1000×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6块
PHGZ-92700-PN 1500×1200×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6块

一、控温方式: PLC+7寸液晶触摸屏或PID双数显智能控温。

二、内胆材料: 镜面不锈钢板。

三、加热装备:不锈钢无尘电热管,升温速度0-15℃/min。

四、传热方式: 辐射导热。

五、洁净度: 安装高效过滤系统,确保箱内环境达到class100。

六、真空度: 真空度达到≤50pa,极限真空度可达到10pa。

七、氧含量控制: 实时检测,氧含量可控制100ppm以下,最低可至20ppm。

八、密封方式: 耐高温压迫密封胶条,真空状态密封更牢固。

九、定时装置: 恒温定时,预设烘烤时间,时间到自动切断加热并蜂鸣报警

十、超温保护: 配置独立超温保护仪,超过设定温度自动切断加热并蜂鸣报警

十一、电器配置: 断路器、接触器、过载保护器、中间继电器、离心抽风机等

十二、安全装置: 漏电,短路,过载保护;鼓风电机过载缺相保护

如有其他工艺需要,可联系功能定制!

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