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无尘洁净氮气柜特点及原理

作者:admin 来源:未知 发布时间:2022-05-06
    洁净氮气柜主要用于半导体工业中的晶圆存储。
    除了氮气柜最基础的湿度控制或含氧控制外,它还需要有清洁的过滤功能。
    为了保证芯片的成品率,需要确保晶圆工艺中的环境处于100级甚至10级的水平,晶圆存储也是如此。
    空气中有大量可见和不可见的悬浮颗粒。为了尽可能地消除这些颗粒,通常采用高效过滤装置。在普通氮气柜的基础上增加过滤循环风管。机柜内的空气吸入风道后,经过滤器过滤后返回机柜。
    无尘氮气柜一般采用SUS304镜面不锈钢制作,以减少使用过程中颗粒的产生 还可以选择其他功能,如报警、照明、含氧量、温湿度曲线等。
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