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10pa,20pa,50pa,100pa,BCB高真空充氮无氧烘箱

作者:admin 来源:未知 发布时间:2022-10-28
    真空烘箱应用于电子、化工、医药、食品、轻工等行业,常用于半导体工业的光刻工艺。
    BCB光刻胶的化学名称是苯并环丁烯树脂,是一种活性树脂,在无氧条件下在350°C下形成热固性聚合物,由于苯并环丁烯材料具有优良的电绝缘性能,因此在电子半导体工业中得到了良好的应用。
    BCB的热处理,在晶圆上涂上BCB胶后,真空抽除空气和杂质气体。根据不同的工艺要求,真空度需要达到100pa、50pa,甚至10pa,然后通过填充高纯度洁净氮气来实现无氧环境,50或20ppm以下,然后根据预先设定的recipe升温,冷却。
    高真空无氧烘箱主要分为以下几部分:
    1、控制系统:一般采用PLC控制,通过自动程序进入产品全自动,无需人工操作,直到程序结束。
    2、充氮系统:两个通氮气通道,加热前两个通氮气通道同时开启或大流量开启,迅速实现无氧环境,加热过程中开启小流量充氮,保持低氧环境。
    3、氧含量检测系统:氧化锆高温氧含量检测仪,开机后自动开启自身加热,达到温度后自动检测,达到设定的氧含量,烤箱加热自动开启。
    4、加热系统:通过辐射加热,内胆外壁为加热层,使烘箱温度更加均匀.
    5、冷却系统:水冷或风冷,快速达到室温,提高生产效率。
    6、保护系统:过热保护、漏电保护、过载保护、接地保护等。
    还可以根据用户的不同工艺条件增加各种功能。
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