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氮气烘箱充氮烘箱的工艺流程

作者:admin 来源:未知 发布时间:2022-07-28
    充氮烘箱用于许多半导体工艺,如外延基板工艺中的高温退火、 BCB/BOP/PI胶水固化和黄工工艺中的坚膜、封装工艺中的基板烘烤和除湿、银胶固化、后烘烤等。
    氮气烘箱的最高温度通常为250-400℃。根据客户不同产品的工艺要求,可设置多种配方组合和斜率,使用方便;也有一些有特殊要求的产品需要提高清洁度要求,最高清洁度等级可以达到class100;手动控制和PLC全自动控制可选,操作更简单。
    基本工艺流程如下:充氮气(可根据产品要求设定时间或增加含氧量控制)——开始加热,继续补充氮气——冷却阶段(可根据需要选择不同的冷却方式)——程序结束,并出现报警提示。当然,在不同的情况下,程序流程也会略有不同。
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