产品简介： 用于半导体晶圆清洗、涂胶、光刻、退火、坚膜、封装等工艺，电子材料线路板烘烤，金属材料退火等其他行业...

一、控温方式 PID双数显智能控温，按键设置，设置值与实际温度LED数字显示。

二、洁净度 根据客户要求箱内环境达到CLSS100或CLASS1000洁净环境。

三、氧含量 氧含量达到100ppm，可根据客户要求达到20ppm以内。

二、均匀度 ±1.5%℃。

二、内胆材料 1.2mm镜面不锈钢板。

三、加热装备 采用覆套式304不锈钢加散热片加热管；使用寿命可达4万小时以上。

四、送风方式 双风道水平送风。

五、送风装置 长轴耐高温烘箱电机以及烘箱专用多翼式风轮。

六、高效过滤 安装高效过滤装置，箱内环境可能百级洁净环境。

七、定时装置 1分~99.9小时恒温定时，预设烘烤时间，时间到自动切断加热并蜂鸣报警。

八、超温保护 配置独立超温保护仪，超过设定温度自动切断加热并蜂鸣报警。

九、电器配置 断路器、接触器、过载保护器、中间继电器、离心抽风机等。

十、安全装置 漏电，短路，过载保护；鼓风电机过载缺相保护。

十一、报警装置 三色声光报警装置，设定时间结束报警提示。绿色运行，黄色暂停，红色故障。