晶圆保存柜/真空保存柜设备描述

一、工作原理：放入产品之后抽真空保护，抽完真空亦可充入氮气， 利用真空无尘无氧的环境保存产品。
二、内胆材料：内部材质采用3.0mm优质SUS304不锈钢板,整个内胆用氩弧焊封闭焊接,耐压耐温。
三、外部材料：1.2mm冷轧钢经过磷化处理后，加入防静电烤漆喷塑处理。
四、多门设计：为了节省占用空间可选配多门设计。
五、超低真空：极限真空度<7.5*10-2pa。
六、充氮系统：可选配自动控制和手动控制。
七、控制系统：PLC程序全程可自动控制。
八、压力保护：防止压力过高。
九、保护装置：漏电，短路，过载保护。
十、报警装置：三色杆报警，红绿黄代表不同的工作状态。

参考型号