为保证待烘烤产品处于相对清洁的环境中，在高温下不会被氧化，在产品烘烤前或烘烤过程中充入惰性气体氮气。

    主要结构和原理：充氮烘箱内箱体主要采用SUS304#或316#不锈钢，以保持腔内环境清洁，并具有一定的防腐和耐高温的效果。风管也由不锈钢制成，风管必须密封。除注入高纯度清洁氮气外，使用过程中不允许外部空气进入腔体。在内部风管循环过程中，部分气体通过外部排热管排出，大部分空气由风管和新鲜氮气加热，然后返回出风口进入腔体。

    充氮烘箱可根据客户的工艺及使用环境制成台式烘箱、立式烘箱、左右开门烘箱、多层烘箱、分层烘箱、联体烘箱等 。

    广泛应用于半导体、光电、电子、化工、陶瓷、塑料、印刷等行业。

    无氧烘箱集成了充氮烘箱、精密烘箱和洁净烘箱的特点，并增加了氧气分析功能。

    同样内部使用SUS304#/316#不锈钢，外部可选用冷轧钢喷塑或不锈钢材料。内部密封性则比充氮烘箱更高，以确保氧气含量达到极低的环境。最低含氧量可达到10ppm。当然，这也与客户使用的氮气纯度有关。

    同时，它对含氧量和温度均匀度有较高的要求，最低可以达到±1%℃。此时，有必要确保风道内的风压平衡，并增加出风口和回风口的调节装置，以实现腔内所有点的温度均匀。

    在无氧环境中，清洁度的要求也至关重要。例如，高精度半导体材料需要在class100的环境中烘烤。在风管内安装0.3um高效耐高温的过滤装置。加热管必须是无污染的高端不锈钢加热管，以防止污染内部环境。

    在无氧烘箱的要求下，根据客户不同的要求有无氧无尘烘箱、洁净无氧烘箱、真空无氧烘箱等。当然，这些只是一些常规要求。每种产品都有特殊的工艺要求，可以根据不同的要求增加不同的功能。

    鉴于产品的多样性和操作的复杂性，建议采用PLC编程控制系统，操作和后续维护服务更加简单方便。

    目前，充氮烘箱主要用于半导体、光电子、精密电子、新能源、制药、化工等高精度行业。