无尘无氧烤箱广泛应用于半导体、医疗、通讯、化工、航空航天、军工产品、电子等行业。顾名思义，它的主要特点是在烤箱的工作过程中实现清洁无氧的环境那么它的内部结构和工作原理是什么?

    01. 如何实现无尘环境？

    一般来说，精密烤箱的内部循环方式包括水平送风和垂直送风。为了实现内部无尘环境，有必要在出风口处增加一个高温高效的过滤装置（也分为千级和百级过滤器）。烘箱中的空气通过回风口后，一部分通过排气口排出烘箱，另一部分通过循环通道再次加热，最后通过过滤器返回工作间。

    除过滤空气外，工作时还应尽量避免灰尘，选择高端材料和电器。如果加热管需要在高温下无法产生颗粒物。

    02.如何实现厌氧环境?

    在工作间，无氧环境主要通过氮气置换实现。风管内填充高纯度氮气，一般纯度大于99.999%以上（根据不同产品的含氧量要求）。进入后，氮气在高温下加热，然后通过过滤器，反复循环以达到所需值。目前，氧含量检测主要基于氧化锆分析仪。打开电源，将氧化锆加热至工作温度700-800℃，开始检测。

    注意，最好不要在无尘室外长时间使用。空气中有大量的颗粒物，长期使用将大大降低空气滤网的使用寿命。

    03无尘无氧烘箱的控制和工艺流程？

    产品放入后，打开电源，此时不要急于充氮和开始加热。但是，在氧气分析仪达到上述工作温度且氧气含量达到该温度（当然，氧气检测范围应根据不同的要求进行设置）后，才会显示。显示内容物后，打开氮气，达到所需氧气含量（如10ppm）后打开加热。

    此外，选购时最好选择全自动控制。只要设置好程序，就不需要人工干预。使用前，设置氧气分析仪的量程和温度配方，并调整每个流量计的流量。主要过程是：打开电源后，氧气分析仪自动加热，大流量计自动开始充氮。当达到设定氧含量时，大流量计关闭，小流量计启动，同时加热。当烘箱时间结束时，加热停止，氮气关闭。整个流程结束。

    当然，它也可以根据不同的要求进行更改。